Caracterização fotoacustica de semicondutores : propriedades opticas, termicas e de transporte

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

1990

RESUMO

O Sinal Fotoacústico de amostras semicondutoras é estudado em função da freqüência de modulação da luz, na configuração de transmissão. É mostrado, no intervalo de freqüência onde a amostra é termicamente grossa, que a amplitude e a fase podem discriminar a diferença entre fontes de calor devido a recombinações rápida e lenta, responsável pelo Sinal Fotoacústico. A caracterização de propriedades térmicas e dos portadores é discutida. A influência da implantação iônica nas propriedades térmicas de amostras de silício à temperatura ambiente é também investigada, usando o método Fotoacústico e medidas de condutividade térmica. É sugerido que o decréscimo na difusividade e condutividade térmicas, com o aumento da concentração da dose de íons implantados, é devido à amorfização da camada implantada

ASSUNTO(S)

analise espectral semicondutores

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