Detecção de defeitos em estruturas semicondutoras atraves da microscopia fototermica de reflexão : a interferencia optotermica e o aumento de contraste
AUTOR(ES)
Jerias Alves Batista
DATA DE PUBLICAÇÃO
2001
RESUMO
Not informed
ASSUNTO(S)
difusividade termica interferencia (luz) microscopio e microscopia - tecnica
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