Efeito de bolhas e de transporte na morfologia do silÃcio corroÃdo anisotropicamente.

AUTOR(ES)

Louro, Alvimar da Silveira

DATA DE PUBLICAÇÃO

2001

RESUMO

Esta tese descreve um estudo da corrosÃo anisotrÃpica do silÃcio monocristalino em soluÃÃo de KOH. As superfÃcies sendo corroÃdas foram observadas em tempo real com um vÃdeo-microscÃpio, e foram medidos parÃmetros Tb e Ram de bolhas produzidas na reaÃÃo para correlacionar com a respectiva rugosidade resultante. O objetivo dessas medidas foi testar experimentalmente um modelo que atribui a maior parte da rugosidade ao mascaramento aleatÃrio das superfÃcies por bolhas aderidas. Em alguns experimentos foi adicionado K3Fe(CN)6 Ãs soluÃÃes de KOH para investigar o efeito desse aditivo nos parÃmetros de bolhas e na rugosidade resultante da superfÃcie corroÃda. TambÃm foram feitas corrosÃes eletroquÃmicas para testar o efeito do potencial externo sobre as bolhas e as superfÃcies corroÃdas. A observaÃÃo em tempo real tambÃm permitiu investigar as ocorrÃncias, em corrosÃes de silÃcio nas quais a ponta de um fio de platina foi mantida encostada, ou perto da superfÃcie sendo corroÃda, para verificar se o aumento da velocidade de corrosÃo, observado nessas circunstÃncias, à devido, talvez, ao aprisionamento de bolhas na ponta do fio. Os resultados deste trabalho mostram que os parÃmetros de bolhas Tb e Ram assim como a rugosidade resultante das superfÃcies corroÃdas tendem a diminuir com o aumento da concentraÃÃo de KOH na soluÃÃo e com o aumento da temperatura. Isto mostra que a relaÃÃo entre rugosidade e bolhas existe, como sugerido pelos autores da referÃncia [6]. No entanto a simples diminuiÃÃo dos parÃmetros de bolhas nÃo à suficiente para garantir superfÃcie corroÃda com baixa rugosidade. Deve-se considerar a quantidade de bolhas produzidas na superfÃcie. Poucas bolhas nÃo significa que a superfÃcie corroÃda estarà ausente de marcas, pois nos espaÃos onde nÃo hà formaÃÃo de bolhas pode haver formaÃÃo de pirÃmides que deixam a superfÃcie corroÃda com rugosidade bastante elevada. A adiÃÃo de K3Fe(CN)6 Ãs soluÃÃes de KOH ou o uso de potencial anÃdico no silÃcio suprime a formaÃÃo dessas pirÃmides.

ASSUNTO(S)

rugosidade de superfÃcie bolhas hidrÃxidos de potÃssio silÃcio corrosÃo anisotrÃpica

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