Estudo do processo de obtenção e propriedades de filmes finos compostos de acetileno polimerizado, paladio e carbono, depositados a plasma

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

1991

RESUMO

Filmes finos compósitos de acetileno polimerizado-paládio-carbono foram obtidos pelo processo combinado de polimerização à plasma e sputtering. O plasma foi produzido numa câmara de vácuo com um sistema de eletrodos circulares e paralelos, alimentados por uma fonte de tensão de corrente continua. Um dos eletrodos foi revestido com paládio e a deposição dos filmes era feita em substratos colocados no eletrodo oposto (anodo). Acetileno foi empregado como gás de polimerização misturado com argônio. Este último promovia o sputtering do cátodo de paládio. O processo de deposição foi monitorado por espectroscopia óptica de Emissão, pela detecção de espécies químicas presentes no plasma através de suas linhas de emissão. Da análise dos sinais de emissão de paládio, hidrogênio e argônio foram determinadas as concentrações relativas de paládio e hidrogênio na fase gasosa. A composição dos filmes foi estudada por Espectroscopia Infravermelha de Transmissão e Difração de Elétrons; a estrutura por Microscopia Eletrônica de Transmissão e a proporção de metal no filme foi determinada por Microanálise Eletrônica. Algumas das características apresentadas pelos filmes foram correlacionadas com os parâmetros ópticos observados. Do estudo da condutividade elétrica em função da temperatura vimos que o mecanismo de condução que melhor se aplica aos filmes é o de tunelamento de elétrons entre ilhas metálicas

ASSUNTO(S)

acetileno - aplicações industriais filmes finos - composições paladio - aplicações industriais espectroscopia do plasma

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