Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100)
AUTOR(ES)
Regis Eugenio dos Santos
DATA DE PUBLICAÇÃO
2003
RESUMO
ormado.
ASSUNTO(S)
silecetos microeletronica contatos eletricos
ACESSO AO ARTIGO
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