Projeto conceptual de uma fonte de Ãons do tipo Kaufman.

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

1999

RESUMO

Este trabalho tem por objetivo projetar e otimizar conceitualmente uma fonte de Ãons do tipo Kaufman. Por ter uma larga aplicaÃÃo no tratamento de superfÃcie de materiais, esta fonte de Ãons à parte de um projeto de uma EstaÃÃo Experimental para Processamento de Materiais para o LaboratÃrio de Plasmas e Processos do ITA. Uma fonte de Ãons do tipo Kaufman pode ser dividida basicamente em duas partes: uma cÃmara de descarga onde um gÃs à ionizado pelo bombardeamento de elÃtrons emitidos por um catodo e grades para a extraÃÃo e aceleraÃÃo dos Ãons de maneira a produzir o feixe. Partindo da energia e da corrente do feixe de Ãons utilizando os cÃdigos numÃricos desenvolvidos no LaboratÃrio Associado de Plasmas - LAP do Instituto Nacioanl de Pesquisas Espaciais - INPE. Com este estudo estabeleceram-se os potenciais qua devem ser aplicados nas grades de extraÃÃo e aceleraÃÃo de forma a produzir um feixe o mais colimado possÃvel e com a energia e corrente requeridas. Destes cÃdigos foram extraÃdos, tambÃm, os parÃmetros de plasma, tais como, densidade eletrÃnica, corrente de descarga e taxa de fluxo de gÃs neutro. Estes perÃmetros estabelecem, entÃo, a meta para o estudo e projeto da cÃmara de ionizaÃÃo. Utilizando o cÃdigo KARAT, o qual à baseado no mÃtodo partÃcula-em-cÃlula (PIC), foi projetada e otimizada a cÃmara de descarga. Foram estudados o comprimento da cÃmara, o tipo de catodo (com relaÃÃo à emissÃo e geometria), o efeito sobre os elÃtrons primÃrios da introduÃÃo de grades prÃximas ao catodo e Ãs laterais da cÃmara e, por Ãltimo, os tipos de configuraÃÃes magnÃticas com diferentes valores para se gerar um adequado confinamento magnÃtico.

ASSUNTO(S)

fontes de Ãons feixes de elÃtrons plasmas (fÃsica) descargas de gases

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