Atomic Hidrogen
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1. Estudo da formação de hidrogênio atômico no filamento do reator HFCVD / Study of the formation of atomic hydrogen in the filament of reactor HFCVD
A complexidade do entendimento no processo de deposição de diamantes HFCVD é causada pela interdependência de quatro estágios principais que são: formação de radicais perto do filamento, seu transporte, reações químicas na fase gasosa e reações químicas na superfície do substrato. Para entender os fenômenos que ocorrem durante o processo de d
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 28/02/2005