Catodos Ocos
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1. Microplasmas em equilíbrio de excitação
O objetivo do presente trabalho foi realizar estudo experimental e teórico amplo e criterioso de plasmas confinados em um microcatodo oco aberto (MCO aberto), formado por um capacitor de placas plano-paralelas com um dielétrico (mica), entre elas e um furo de diâmetro (diâmetros escolhidos: 250m, 500m e 1000m), vazando o centro das placas juntamente com
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 18/04/2011
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2. Estudo e caracterização de microplasmas luminescentes através da espectroscopia óptica de emissão.
O objetivo deste trabalho é apresentar um estudo sistemático dos microplasmas luminescentes produzidos através de descargas elétricas de corrente contínua, complementando o trabalho iniciado na dissertação de mestrado. Estes estudos envolvem as propriedades elétricas e espectroscópicas (através da espectroscopia óptica de emissão - EOE). Os micro
Publicado em: 2010
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3. Estudos em plasmas gerados em sistema magnetron para deposiÃÃo de nitreto de alumÃnio em baixa temperatura.
O nitreto de alumÃnio (AlN) tem atraÃdo muito interesse pelas suas notÃveis propriedades fÃsicas: dureza, alta condutividade tÃrmica, resistÃncia para altas temperaturas. Uma fonte de catodo oco DC foi adicionada a um sistema de sputtering magnetron. Isto leva a uma ionizaÃÃo na regiÃo do catodo e habilita a descarga a operar a pressÃes significati
Publicado em: 2007
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4. Catodo oco com constriÃÃo para corrosÃo de materiais eletrÃnicos em alto vÃcuo.
Neste trabalho foram desenvolvidos estudos sobre um jato de plasma com o objetivo de aperfeiÃoar seu emprego para corrosÃo (plasma etching) de materiais eletrÃnicos. Foi investigado um novo tipo de reator, recentemente desenvolvido, no qual um jato de plasma à gerado em alto vÃcuo a fim de proceder à corrosÃo dos materiais. Com o intuito de determinar
Publicado em: 2006
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5. CaracterizaÃÃo de microplasmas anulares e tubulares: aplicaÃÃo em microjatos de plasma.
Este trabalho dedicou-se ao estudo e à compreensÃo dos processos de formaÃÃo e manutenÃÃo de microplasmas, em especial as microdescargas em corrente contÃnua operando no regime luminescente. A microdescarga luminescente à uma extensÃo da jà bastante conhecida descarga luminescente. As nossas pesquisas ficaram concentradas nas microdescargas lumines
Publicado em: 2005
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6. InvestigaÃÃes em plasmas gerados em descarga de catodo oco plano.
Descargas de catodo oco (DCO) sÃo capazes de gerar plasmas densos e sÃo empregadas para o desenvolvimento de reatores a plasma em baixa pressÃo, com taxas elevadas de produÃÃo de partÃculas reativas e alta eficiÃncia de processamento de materiais. A caracterÃstica geomÃtrica de uma DCO promove oscilaÃÃes de elÃtrons de alta energia dentro do cato
Publicado em: 2005