Deposicao Por Vapor Quimico Cvc
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1. Filmes de diamante não-dopados e dopados: um estudo sistemático usando espectroscopia Raman.
Filmes de diamante crescidos por deposição de vapor químico (CVD) assistido por filamento quente (HFCVD) e plasma de microondas (MWCVD) foram investigados. Espectroscopia Raman, microscopia eletrônica de varredura e difração de raios-X foram utilizadas para realizar estudos sistemáticos sobre a qualidade cristalina e a pureza de fase dos filmes, como
Publicado em: 2004