Excitacoes Atomicas
Mostrando 1-1 de 1 artigos, teses e dissertações.
-
1. Propriedades eletronicas e estruturais do xenonio implantado em silicio amorfo / Electronic and structural properties of xenon in amophous silocon
Esta tese mostra um estudo realizado sobre implantação de xenônio (Xe) em uma matriz amorfa de silício (a-Si) utilizando a técnica de Deposição Assistida com Feixe de Íons (IBAD). Para esta finalidade, um feixe de íons de Xe com energia de 1500 eV, obtido de um canhão tipo Kaufman, foi utilizado para a realização de sputtering de um alvo de silí
Publicado em: 2009