Filmes Espessos Circuitos Otica Integrada
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1. Sistema de fotorrepetição para fabricação de circuitos integrados
A litografia faz parte de um conjunto de técnicas usadas na fabricação de circuitos integrados. As técnicas litográficas são genericamente englobadas nas denominadas litografia óptica e litografia por feixe de elétrons, das quais a primeira é ainda a mais difundida e, melhor estabelecida. A litografia óptica prevê o uso de máscaras (matrizes fina
Publicado em: 1982