Nitrato De Alumano
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1. Estudo das propriedades de filmes finos de nitreto de alumÃnio produzidos por processo de "magnetron sputtering" em regimes contÃnuo (DC) e alternado (RF).
Este trabalho tem como objetivo o estudo das propriedades de filmes finos de nitreto de alumÃnio produzidos por processo de "magnetron sputtering" usando-se alvo de alumÃnio de alto grau de pureza (99,999%). Os filmes foram produzidos em descargas a plasma sob regimes contÃnuo (DC) e alternado (RF). No curso deste estudo foi investigada a influÃncia da t
Publicado em: 2004