Simulacao Da Corrosao Do Silicio
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1. Estudos de plasmas fluorados aplicados em corrosão de silício usando simulação de modelo global e diagnósticos experimentais.
Neste trabalho foram realizadas investigações em plasmas fluorados CF4 e SF6 e em suas aplicações no processo de corrosão de lâminas de Si. Estes plasmas foram gerados no convencional reator RIE de eletrodo planar e em dois reatores especialmente desenvolvidos para os estudos previstos: reator RIE com eletrodo oco e reator constritivo para geração de
Publicado em: 2009
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2. Software development for atomistic simulation of anisotropic etching silicion by cellular automata. / Desenvolvimento de software para simulação atomística da corrosão anisotrópica do silício por autômato celular.
Nesse trabalho foi desenvolvido um software para simular a corrosão anisotrópica do silício, tendo como base o comportamento desta corrosão em soluções alcalinas (KOH). Esse software foi escrito na linguagem C++ para diversas plataformas e possui dois módulos básicos que são a Biblioteca de classes (denominada autosim) e uma Interface Gráfica (deno
Publicado em: 2008
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3. Kinetic analysis of the chemical processes in the decomposition of gaseous dielectrics by a non-equilibrium plasma - part 2: SF6 and SF6/O2
Neste trabalho é realizada a simulação numérica da decomposição em fase gasosa de SF6 e misturas de SF6/O2, na presença de silício. São determinadas as velocidades relativas dos processos individuais, o efeito da incerteza dos parâmetros e os coeficientes de sensibilidade. Os resultados são comparados com dados experimentais encontrados na literat
Journal of the Brazilian Chemical Society. Publicado em: 2000-04
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4. Kinetic analysis of the chemical processes in the decomposition of gaseous dielectrics by a non-equilibrium plasma - part 1: CF4 and CF4/O2
A integração numérica das equações diferenciais ordinárias que descrevem um sistema cinético e a análise de sensibilidade dos resultados aos parâmetros são metodologias cada vez mais utilizadas na cinética química. Neste trabalho, é apresentado um estudo de simulação numérica da decomposição em fases gasosa de CF4 e de misturas CF4/O2 na pr
Journal of the Brazilian Chemical Society. Publicado em: 2000-04