Sistemas Microeletromecanicos Mems
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1. Caracterização de propriedades mecânicas de materiais utilizados em microssistemas eletromecânicos / Mechanical properties characterization of materials used in micro-electro mechanical systems
A caracterização das propriedades mecânicas de filmes finos faz-se necessária para o projeto e fabricação de Microsistemas Eletromecânicos (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems), que demanda dados precisos dos materiais. Esta pesquisa descreve um novo método de caracterização das propriedades mecânicas de filmes finos, barato e aplicávela uma
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 27/07/2012
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2. Acelerômetro MEMS para navegação inercial
Esta tese apresenta o desenvolvimento de um acelerômetro MEMS para navegação inercial. O projeto teve que aderir e superar as fortes limitações do serviço de fabricação multi-usuário e dos escassos recursos de pós-processamento disponíveis. O elemento sensível usa a topologia de placas paralelas com realimentação de força. A deflexão da massa
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 01/12/2011
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3. Numerical simulation of MEMS-based cold gas micronozzle flows / Simulação numérica do escoamento de gás frio em microbocais baseados em MEMS
A atual tendência no projeto de sistemas espaciais tem caminhado no sentido de se reduzir o custo do ciclo de vida dos programas através da redução da complexidade das missões dos satélites. Nesse contexto, umas das opções diz respetio à redução da massa total do sistema. Desse modo, conceitos de micropropulsão baseados em microtecnologias têm s
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 15/09/2011
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4. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. / Development of a atomistic microfabrication simulation software based on celullar automata.
O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas pelo programa, um módulo com funcionalidades b
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 30/05/2011
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5. Chaves MEMS aplicadas a dispositivos de RF e micro-ondas : projeto, tecnologia e implementação fisica de deslocador de fase e filtro sintonizavel / MEMS switches applied to RF and microwave devices : design, technology and physical implementation of phase shifter and tunable filter
O propósito deste trabalho é, a partir dos conceitos de linhas de transmissão, teoria de filtros e o conhecimento pioneiro deste grupo acerca das chaves MEMS de RF, propor duas aplicações reais baseadas nesta estrutura singular: um deslocador de fase e um filtro sintonizável na faixa de 0,1-35GHz e banda Ku (12,4-18GHz) respectivamente. Uma abordagem p
Publicado em: 2009
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6. MEMS-PCB : tecnologia e implementação fisica de micro-chaves em placa de circuito impresso para aplicação em RF e micro-ondas / PCB-MEMS : technology and physical implementation of micro switches on printed circuit board for RF and microwave application
O desenvolvimento de chaves MEMS (Micro Electro Mechanical System) de RF, usando os conceitos e a tecnologia de placa de circuito impresso (PCB) é objeto desta pesquisa. Foram fabricadas micro-chaves na configuração paralela, sobre guias de onda coplanares (CPW). Recentemente, suas aplicações vêm sendo direcionadas a circuitos mais sofisticados, onde s
Publicado em: 2009
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7. Desenvolvimento de um sistema microcontrolado para monitoramento de atividades esportivas baseado em sensores microeletromecanicos de aceleração e giro / Microcontroller sport activitis monitoring system prototype based on acceleration and rotation microelectromechanical sensors
Apesar de existirem várias ferramentas tecnológicas para o auxílio do treinamento esportivo, a maioria delas são soluções de alto custo e geralmente específicas para um esporte em particular, o que dificulta a difusão de tais tecnologias no país. Este trabalho propõe o desenvolvimento de um protótipo eletrônico microcontrolado de baixo custo, bas
Publicado em: 2009
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8. Thermo-mechanical properties of a-SiC:H and SiOxNy thin films and development of MEMS. / Propriedades termo-mecânicas de filmes finos de a-SiC:H e SiOxNy e desenvolvimento de MEMS.
O presente trabalho, realizado junto ao Grupo de Novos Materiais e Dispositivos (GNMD), no Laboratório de Microeletrônica do Departamento de Sistemas Eletrônicos da Escola Politécnica da USP, visou determinar algumas das propriedades termo-mecânicas de materiais depositados pela técnica de plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) que são impo
Publicado em: 2008
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9. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos. / Study and characterization of a-Si1-xCx:H thin films produced by PECVD aiming applications in mems and optical devices.
Neste trabalho foi desenvolvido um estudo sistemático das propriedades estruturais, mecânicas e ópticas de filmes de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-Si1-xCx:H) produzidos pela técnica de deposição química a vapor assistida por plasma (PECVD) a baixas temperaturas (320°C), utilizando silana (SiH4) e metano (CH4) como gases precursores do sil
Publicado em: 2008
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10. Capacitive microsensor for evaluation of the quality of automotive fuels. / Micro-sensor capacitivo para avaliação da qualidade de combustíveis automotivos.
This work proposes a capacitive sensor with interdigitated electrodes in order to evaluate the quality of automotive fuel. Interdigitated electrodes have some interesting features for this type of sensor. Among them, they increase the capacitance by having several capacitors in parallel, and by having a structure feasible to be manufactured by conventional m
Publicado em: 2008
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11. Modeling of MEMS switches for RF applications. / Modelagem de chaves MEMS para aplicações em RF.
In this thesis, the main concepts of MEMS, their application, fabrication processes, components and systems are addressed. The objective of the thesis is a detailed study of MEMS switches for RF applications, that present good performance at high frequencies and with a potential for bandwidth improvement. More specifically, the study was deeply conducted for
Publicado em: 2007
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12. Design of multi-phase micromechanisms using the topology optimization method. / Projeto de micromecanismos multifásicos usando o método da otimização topológica.
A micromechanism is essentially a device of milimetric, or even micrometric, dimensions that can actuate as a gripper, tweezers, clamp, etc. When coupled to an electronic system, they are called "Micro-Electro-Mechanical Systems" (MEMS). Almost all of these devices are constituted by compliant mechanisms, where the motion is allowed by the compliance of its
Publicado em: 2006