Three Dimensional Lithography
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1. Domínios ferroelétricos em cerâmicas e materiais nanoestruturados: investigação por microscopia de piezoresposta
In this work, ferroelectric domain structure was investigated by Piezoresponse Force Microscopy (PFM). To this, an Atomic Force Microscope (AFM) has been modified to use it as PFM at room temperature and at high temperatures. Ferroelectric ceramics were used in the as bulk ceramic samples of Pb(Zr0,40Ti0,60)O3 (PZT 40/60) and (Pb0,79La0,21)TiO3 (PLT 21) prod
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 07/12/2011
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2. Desenvolvimento de processo litográfico tri-dimensional para aplicação em microóptica integrada. / Development of three-dimensional lithographic process for application in integrated micro-optics.
O presente trabalho tem como objetivo desenvolver um processo de fabricação de elementos micro-ópticos utilizando-se litografia por feixe de elétrons, empregando o resiste SU-8, negativo e amplificado quimicamente, sobre substrato de Si. Para tanto, é realizado o estudo dos parâmetros do efeito de proximidade a, b e h para se modelar e controlar os efe
Publicado em: 2010
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3. Gravação e caracterização de nanoestruturas bidimensionais em relevo
This thesis describes the recording of two dimensional surface-relief nano structures, using double holographic exposures and lithography. The experimental conditions for recording photoresist masks are described, as well as for the lithography of the two dimensional pattern in three different materials: aluminum, nickel and hydrogenated amorphous carbon. Fo
Publicado em: 2003