Triodo Magnetron Sputtering
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1. Escores Prognósticos de Mortalidade na Cirurgia Cardíaca para Endocardite Infecciosa
Resumo Filmes de TiO2 dopados com Nb podem associar propriedades como TCO (transparent conductive oxide) e super-hidrofilicidade, quando ativados por luz UV. Filmes metálicos de Ti-Nb foram depositados sobre substrato de vidro via triodo magnétron sputtering e posteriormente os filmes foram oxidados em atmosfera ambiente a 600 °C durante 1,0 h em condiç�
Arq. Bras. Cardiol.. Publicado em: 2020-03
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2. Efeito do teor de nióbio na molhabilidade de filmes TiO2:Nb
Resumo Filmes de TiO2 dopados com Nb podem associar propriedades como TCO (transparent conductive oxide) e super-hidrofilicidade, quando ativados por luz UV. Filmes metálicos de Ti-Nb foram depositados sobre substrato de vidro via triodo magnétron sputtering e posteriormente os filmes foram oxidados em atmosfera ambiente a 600 °C durante 1,0 h em condiç�
Cerâmica. Publicado em: 2020-03
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3. Medição de tensões residuais em filmes finos durante o processo de deposição. / Thin films residual stress measurement during deposition process.
Neste trabalho foram realizadas algumas deposições de filmes de Nitreto de Titânio sobre substrato de aço inoxidável. Foi utilizado o processo conhecido como triodo magnetron sputtering. Os parâmetros de deposição foram mantidos entre as deposições, exceto pela voltagem de bias no substrato, que foi variada de uma deposição para outra. Medições
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 28/07/2011
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4. Elaboration of nitride thin films by reactive sputtering
O objetivo desse artigo, em um primeiro momento, é uma melhor compreensão da vaporização em um ambiente magnetron reativo DC e as suas conseqüências, tais como o efeito da histeresis e o processo de instabilidade. A segunda parte desse trabalho está dedicada a um estudo de caso: o nitreto de alumínio. Filmes finos de nitreto de alumínio foram deposi
Rem: Revista Escola de Minas. Publicado em: 2006-06
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5. Influência de filmes de INCONEL 600, depositados por triodo-magnetron-sputtering, na resistência à corrosão de substratos de latão C360
The objective of this work is to evaluate the corrosion resistance of Brass C360 samples coated with INCONEL 600 films, obtained by the plasma at configuration Triodo agnetron Sputtering (TMS) technique. In order to compare had been deposited films with different parameters (time of deposition and potential to the substrate) obtaining coatings with different
Publicado em: 2006
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6. Deposições reativas por Triodo-Magnetron-Sputtering: efeitos da malha da tela no processo de envenenamento do alvo e nas propriedades de filmes de TiN.
O triodo magnetron sputtering (TMS) é caracterizado pela presença de uma tela posicionada em frente ao magnetron. Neste trabalho realizou-se uma investigação experimental do efeito da malha da tela no processo de deposição e nas propriedades físicas dos filmes de TiN. Determina-se as curvas de histerese para três diferentes malhas de tela(18,10,5) co
Publicado em: 2004
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7. Desposição de filmes metálicos sobre a poli(Tereflalato de etileno) via Triodo-Magnetron- Sputtering: influência da corrente e das voltagem nas propriedades do filmes
O Triodo Magnetron Sputtering (TMS) é um sistema de deposição de filmes caracterizado pela introdução de um terceiro eletrodo, que é constituído de uma tela móvel aterrada, situado entre o catodo (alvo) e o anodo (substrato). Esta tela tem o papel de capturar elétrons frios (menos energéticos) da descarga. Alterando-se a posição relativa desta te
Publicado em: 2004